掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)有哪些呢?下面我們簡單的了解一下：

　　掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路體系兩部分。鏡體部分由電子光學體系、信息采集和顯現(xiàn)體系和真空抽氣體系構(gòu)成。

　　1.電子光學體系

　　由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件構(gòu)成。其作用是用來取得掃描電子束，作為信息的激勵源。為了取得較高的信息強度和圖像辨識率，掃描電子束應擁有較高的亮度和盡量小的束斑直徑。

　　2.信息采集及顯現(xiàn)體系

　　檢測樣品在入射電子作用下發(fā)生的物理信息，而后經(jīng)視頻擴大作為顯像體系的調(diào)制信息?，F(xiàn)在廣泛運用的是電子檢測器，它由閃耀體，光導管和光電倍增器所構(gòu)成。

　　3.真空體系

　　真空體系的作用是為保證電子光學體系正常工作，預防樣品污染。

　　4.電源體系

　　電源體系由穩(wěn)壓，穩(wěn)流及相應的平安保護電路所構(gòu)成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。

　　上述就是掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)，希望對你有所幫助。